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杰佛伦"IMPACT" 系列无传输液体压力变送器,适用于高温环境(350°C)。
通过厚膜片,直接把介质压力转送至敏感硅元件。微加工的硅结构(MEMS)对压力进行转换。
工作原理是压缩电阻技术。
微机构包括测量膜片和压敏电阻。
敏感元件要求具有最小误差,使其可用于非常坚固的机械结构。
过程接触膜片比传统熔体传感器所用的膜片厚最多达15倍。 应用:
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