数字传感器--被测量非电学量转换成数字输出信号(包括直接和间接转换)?
膺数字传感器--被测量信号量转换成频率信号或短周期信号输出(包括直接或间接转换)?
开关传感器--当被测量信号达某特定阈值时传感器相应地输出设定低电平或高电平信号
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外界因素作用下所有材料都会作出相应、具有特征性反应们些对外界作用敏感材料即些具有功能特性材料被用来制作传感器敏感元件从所应用材料观点出发传感器分成下列几类:
(1)按照其所用材料类别分?
金属? 聚合物? 陶瓷? 混合物?
(2)按材料物理性质分? ? 导体? 绝缘体? 半导体? 磁性材料?
(3)按材料晶体结构分?
单晶? 多晶? 非晶材料?
与采用新材料紧密相关传感器开发工作归纳下述三方向:?
(1)已知材料探索新现象、效应和反应使们能传感器技术得实际使用?
(2)探索新材料应用些已知现象、效应和反应来改进传感器技术?
现代传感器制造业进展取决于用于传感器技术新材料和敏感元件开发强度传感器开发基本趋势和半导体及介质材料应用密切关联表1.2给出了些用于传感器技术、能够转换能量形式材料?
按照其制造工艺传感器区分:
集成传感器?薄膜传感器?厚膜传感器?陶瓷传感器
集成传感器用标准生产硅基半导体集成电路工艺技术制造通常还用于初步处理被测信号部分电路也集成同芯片上?
